盘点我国金刚石半导体与器件科研团队

宣布时间：2022-10-25 19:24来源：半导体工业网

金刚石是一种超宽禁带半导体质料，其禁带宽度为5.5 eV，比GaN、SiC等宽禁带半导体质料还要大。如下表所示，金刚石禁带宽度是Si的5倍；载流子迁移率也是Si质料的3倍，理论上金刚石的载流子迁移率比现有的宽禁带半导体质料（GaN、SiC）也要高2倍以上，同时，金刚石在室温下有极低的本征载流子浓度。并且，除了最高硬度以外，金刚石还具有半导体质料中最高的热导率，为AlN的7.5倍，基于这些优异的性能参数，金刚石被认为是制备下一代高功率、高频、高温及低功率损耗电子器件最有希望的质料，被业界誉为“终极半导体”。

金刚石半导体的应用与生长，离不开宽大科研事情者不懈的探索与努力。目前海内研究金刚石半导体质料与器件的科研团队有以下（不敷全面，接待各人留言进行增补，仅供参考）：

西安电子科技大学

郝跃院士：宽禁带和超宽禁带半导体质料与器件、微纳半导体新器件及其可靠性

张进成教授：宽禁带半导体(GaN)器件、质料与设备；微波毫米波太赫兹集成电路与工艺；超宽禁带半导体(金刚石、氧化镓、氮化铝)器件、质料与设备；石墨烯及二维半导体器件与质料；柔性新能源与可衣着器件

马晓华教授：恒久从事宽禁带半导体质料、高效率固态微波功率器件及系统应用研究

敖金平教授：宽禁带半导体电子器件与单片集成电路；半导体传感器；半导体光电气化学现象与器件；半导体器件的应用；其它新型半导体质料与器件

张金风教授：氮化物宽禁带半导体质料和器件；超宽禁带金刚石(C) 半导体质料和器件

山东大学

徐现刚教授：从事MOCVD化合物半导体薄膜质料（包括As，P，Sb和氮化物）的生长及器件应用事情，制备出多种量子异质结构质料如量子阱、超晶格、2DEG，多种薄膜质料如AlGaAs、AlGaInP、InGaAsP、AlInGaN、GaAsSb、InGaSb等。

戴瑛教授：金刚石半导体质料电子学性质及应用、半导体质料纳米光电性质及其应用、半导体质料光催化性质、新型光催化质料研究及应用、半导体质料铁磁性质、拓扑绝缘体性质调控

郑州大学

单崇新教授：主要从事宽禁带半导体光电质料与器件研究事情，目前研究内容包括宝石级金刚石单晶的合成、金刚石电子器件、氧化锌纳米结构及其光电器件应用等。

董林教授：宽带隙半导体质料及微纳器件；压电（光）电子学效应，应用光谱技术研究

姚宁教授：先后从事金刚石、碳纳米管、石墨烯等碳基薄膜的场电子发射冷阴极制备技术、有机电致发光器件结构和薄膜制备技术研究等

刘玉怀教授：宽禁带化合物半导体质料、器件与应用系统

西安交通大学

王宏兴教授：半导体生长用MOCVD，MPCVD；III-V氮化物质料及发光器件；大尺寸单晶金刚石及电子器件；金刚石基GaN复合器件；量子光源及传感器。多项结果被接纳用于规�；�

李蓬勃教授：基于金刚石NV色心、超导量子比特等固态量子系统构建混淆量子体系

李福利教授：超导电路和金刚石NV 色心体系中量子纠缠态的制备与操控

崔健磊教授：激光微纳利用/连接技术及其应用研究；激光微纳制造技术；激恢复合微纳机械人可控制造；激光微加工工艺与装备

中国科学技术大学

钱逸泰院士：主要从事纳米质料化学制备和超导质料制备的研究，曾在相对较低温度和条件下以金属钠划分还原四氯化碳和六氯代苯制得了金刚石粉末和多壁碳纳米管。

杜江峰院士：基于自旋的量子盘算和模拟、量子计量学和相关量子物理学（基于金刚石色心的固态自旋量子器件）。

孙方稳教授：从事量子光学和量子信息理论和实验的研究，主要围绕多光子态，金刚石氮-空位色心及光学微纳体系在量子信息技术中的应用开展系统地研究，在量子光学基本理论、量子超区分成像和量子精密丈量方面获得重要进展。

荣星研究员：致力于生长脉冲微波射频技术，生长电子自旋的量子操控要领，开展基于电子自旋的固态量子盘算实验研究（金刚石色心自旋系综的精密操控与信号提取技术）

王亚教授：高性能金刚石量子芯片、量子探针制备实验研究；基于自旋的量子盘算网络实验研究

石生长副教授：单自旋量子盘算及精密丈量、单分子科学

中科院半导体研究所

金鹏研究员：低维结构半导体质料与器件、半导体金刚石质料与器件、宽禁带半导体质料物理、光谱技术与光谱仪器等。

杨少延研究员：宽禁带和超宽禁带半导体低质料、器件及物理研究，大失配异质外延衬底制备技术研究，新型半导体光电器件设计制备技术研究

王晓亮研究员：宽禁带半导体质料和器件；宽禁带半导体电力电子器件；MOCVD设备研制；高效太阳能电池；半导体传感器

哈尔滨工业大学

朱嘉琦教授：金刚石晶体质料及器件；先进薄膜质料；红外窗口的增透�；ぜ际�；新型碳质料；气动热/力失效机理及抗失效要领

浙江工业大学

胡晓君教授：半导体金刚石薄膜质料，超硬低维功效质料，纳米光电薄膜质料

吉林大学

邹广田院士：高压物理和超硬质料；金刚石薄膜，异质外延单晶金刚石膜，金刚石半导体激光器的热沉

李红东教授：CVD金刚石单晶及多晶膜生长，超硬及半导体质料新型结构与性能理论盘算，金刚石基纳米复合结构的制备及特性，金刚石及纳米结构在多领域应用

陈占国教授：硅基光电子学，重点研究硅质料的非线性光学性质、硅基电光调制器、硅基光开关、硅基光电探测器等硅基光电器件；宽禁带半导体质料与器件，重点研究立方氮化硼、六方氮化硼、金刚石等宽禁带半导体质料的制备、性质、以及基于这些宽禁带半导体质料的大功率电子器件和深紫外光电器件等

吕宪义教授:CVD金刚石的制备及应用

武汉工程大学

汪建华教授：等离子体技术及应用研究、新型大功率高稳定度微波源的设计与应用、光学金刚石膜及金刚石涂层制备、纳米碳管电极集成及相关性能研究、微流控技术及应用研究以及微波技术应用研究等。

满卫东教授：大功率微波等离子体制备金刚石膜系统，CVD金刚石膜制备技术研究与应用开发，低温等离子体应用，外貌制备技术，外貌改性技术，先进制造技术开发。

王传新教授：温等离子体应用及功效薄膜质料。

马志斌教授：等离子体技术与MPCVD金刚石

中国科学院大学

陈广超教授：碳及相关质料与器件,等离子体工程,宽带隙质料与器件

北京科技大学

李成明教授：大面积光学级自支撑金刚石膜制备与加工，金刚石单晶的大尺寸取向生长，金刚石等碳质料光电器件研究与应用，氮、碳和氧化物硬质与超硬纳米多层与复合膜的制备与应用，等离子体外貌合金化与等离子体诊断

魏俊俊副教授：研究偏向包括CVD金刚石单晶制备及加工、高品质CVD金刚石膜制备及光学应用、金刚石微纳加工技术和应用、高功率电子器件热治理质料及器件、（纳米）金刚石外貌功效化修饰及其应用等

刘金龙副研究员：碳质料电子器件的研究与应用；单晶金刚石的大尺寸制备和应用；高功率电子器件的热治理；功效薄膜、二维质料及等离子体外貌改性；大面积高质量金刚石膜的制备与应用

中电55所

孔月婵研究员：主要研究偏向为化合物半导体微波功率器件的质料和机理研究，特别对异质结构能带与微波器件输运特性的关联有奇特认识

中电13所

冯志红研究员：研究偏向涉及宽禁带半导体GaN，石墨烯、金刚石和固态太赫兹等技术领域

郭建超博士：高级工程师，研究偏向为氢终端金刚石及电子器件制备

蔚翠博士：宽禁带半导体GaN，石墨烯、金刚石和固态太赫兹等技术领域

香港都会大学

张文军教授：超硬及高温半导体质料包括金刚石及相关质料﹑氮化物，纳米质料与器件等。

李振声教授：主要研究领域为纳米科技、金刚石等超硬涂层及相关质料、质料外貌科学、光电器件等，获得国际广泛认可

陆洋教授：从事微纳米力学研究，特别是关于低维质料的力学行为及其标准效应的探索，增进其在微机械/机电系统、纳米技术及先进制造等实际应用

香港中文大学

杨森助理教授：主要研究固态系统中的量子信息科学及科技，包括量子盘算、量子通讯和量子丈量。其团队利用NV中心的特性来作差别用途，包括快速利用并精确读取自旋态、制作量子暂存器作量子信息处理之用、建立光量子网络和丈量量子质料的超导和磁特性

吴瑞权副教授：主要研究强关联电子系统在极端情况下的特性，如在高压、高磁场和低温等情况下来研究该系统的结构、磁性和电子输运机制。其实验室具备先进的氦稀释冷冻机和强大的磁铁，能够将研究质料降温至低于10毫凯氏度（mK）并施加可达14T的磁场。这使团队能够丈量出单个晶体的量子振动和费米面

中科院宁波质料技术与工程研究所

江南研究员：目前主要从事功效碳素质料，包括CVD金刚石、石墨烯、石墨高导热复合质料及其相关器件研发和工业化应用事情

中南大学

魏秋平教授：主要从事CVD金刚石在耐磨减摩、热治理、生物传感器、有机废水降解等领域的应用基础研究

上海交通大学

张亚非教授：量子线器件（太阳电池、传感器、FET、TFT等）、光伏技术、巨吸附与敏感质料、纳米加工技术（纳米焊接、纳米剪切、外貌修饰、钝化、形状影象分子质料、纳米质料利用排布与组装、光刻、等），半导体和金属纳米晶须（主要包括：Si、SiC、Ge、ZnO、SnO2、Ni、Co、Fe3O4纳米线）制备和应用等。建立了关于DLC//金刚石//石墨生成历程的化学气相外貌反应条件和生长理论机制，理论上解释了化学气相条件下金刚石的生长外貌形态、生长条件和生长速率

范同祥教授：功效金属基复合质料、智能超质料与超结构、生物启迪与仿生质料研究

华侨大学

徐西鹏教授：石材先进加工工具与技术、半导体质料精密超精密磨粒加工新技术

陆静教授：从事纳米碳质料外貌修饰及其在第三代半导体超精密加工领域的应用研究

集美大学

周昌杰副教授：主要从事半导体质料外貌、界面及低维结构质料器件的研究事情

南方科技大学

鲁大为副教授：量子盘算、核磁共振、金刚石色心

邓辉助理教授：金属质料的各向同性刻蚀抛光；三代半导体质料原子选择刻蚀技术；

大口径单晶硅的原子级外貌创成与减薄技术；原子迁移制造技术；面向金刚石的等离子体复合抛光技术

吴向方教授：从事微纳电子技术与系统方面的研究，重点是第三代半导体工艺技术和装备技术的研究

刘奇航教授：凝聚态理论以及盘算质料物理，包括：自旋轨道耦合引起的新奇物理现象，如拓扑质料，自旋劈裂以及相关性质；量子质料以及低维质料中电子结构现象；基于纳电子学和自旋电子学的反向功效质料设计以及器件设计

广东工业大学

王成勇教授：难加工质料的高速高效精密超精密加工理论、工艺、刀具与装备技术研究（超硬质料及其工具制造和应用技术）

大连理工大学

康仁科教授：超精密加工与特种加工技术、难加工质料精密高效加工技术、半导体制造技术与设备、盘算机辅助设计、制造与测试。

苏州大学

李述汤院士：纳米功效质料及器件、有机光电子质料及显示器件以及金刚石和相关超硬薄膜的研究

太原科技大学

王凯悦教授：宽禁带半导体掺杂与表征；先进陶瓷质料设计与优化

上海大学

夏义本教授：主要从事功效薄膜质料与器件、微电子学与半导体元器件、金刚石薄膜生长及在光电器件中应用等方面的教学和科研

北京航空航天大学

袁珩教授：金刚石色心原子磁强计，主要基于固体金刚石NV色心的量子效应，研制超高区分率、超高灵敏磁力仪以及医疗成像等

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